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腳本是幫助掃描電鏡（SEM）操作員日常工作的小型軟件工具。它可以用來(lái)自動(dòng)完成重復(fù)性的任務(wù)，快速掃描大面積區(qū)域，或者在測(cè)量時(shí)獲得更高的重復(fù)性。要做到這一點(diǎn)，必須開發(fā)一個(gè)軟件腳本。在這篇博客中，我們將指導(dǎo)如何開發(fā)一個(gè)小腳本。
掃描電鏡工作流程
通常，掃描電鏡（SEM）的工作流程包括以下步驟:
1. 樣品制備和裝載。
2. 圖像采集
3. 分析
4. 評(píng)估
5. 報(bào)告
6. 結(jié)論
工作流程如圖1所示。步驟1到4可以使用腳本自動(dòng)執(zhí)行。在我們之前的博客中已經(jīng)講解了樣品制備技術(shù)，以及濺射涂層如何幫助掃描電鏡（SEM）成像。
圖像采集，步驟1，主要是自我描述性的，并且涉及到獲得高質(zhì)量圖像所*的所有步驟。首先將樣品移到顯微鏡下的正確位置，并設(shè)置圖像參數(shù)。通過(guò)獲取和保存圖像完成任務(wù)。
圖像分析涉及圖像的處理，從圖像中獲取物理量。例如：
1. 設(shè)置背散射（BSD）圖像閾值，以量化圖像中的成分差異。
2. 分割圖像以找到粒子
3. 測(cè)量工作距離，以檢測(cè)樣品的高度
圖1：掃描電鏡工作流程
在評(píng)估步驟中，對(duì)物理量進(jìn)行評(píng)價(jià)和分類。可以通過(guò)以下方式完成：
1. 根據(jù)粒子的形態(tài)學(xué)計(jì)數(shù)粒子
2. 確定樣品的覆蓋范圍
3. 計(jì)算樣品上的缺陷數(shù)量
在報(bào)告步驟中，報(bào)告自動(dòng)包含所有相關(guān)信息，以作出明智的決定。該報(bào)告可能是:
1. 獲得的掃描電鏡圖像的有用信息
2. 直方圖顯示了樣品信息，例如覆蓋率或大小分布
3. 完整的PDF報(bào)告，包括表格、圖表和圖片
如果腳本是有效的，那么所有這些步驟都可以通過(guò)單擊一個(gè)按鈕來(lái)完成，并且在獲取和處理過(guò)程完成后，會(huì)出現(xiàn)一個(gè)報(bào)告。操作員只需檢查報(bào)告并決定合適的操作。
在這篇博客中，我們將關(guān)注腳本開發(fā)的步，并解釋如何地獲取圖像，以及如何使用合適的參數(shù)。在以后的博客中，我們將詳細(xì)探討其他步驟。
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